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扩散泵油扩散泵的原理

时间:2019-12-12 04:52来源:未知 作者:admin 点击:
油扩散泵(见图 7)是一种蒸气射流泵,当油蒸汽从伞形喷咀(如 I 级喷咀) 以超音速喷出后,其速度逐渐增大,压力及密度逐渐降低,射流上边的被抽气体 A 因密度差要向蒸汽射流中扩

  油扩散泵(见图 7)是一种蒸气射流泵,当油蒸汽从伞形喷咀(如 I 级喷咀) 以超音速喷出后,其速度逐渐增大,压力及密度逐渐降低,射流上边的被抽气体 A 因密度差要向蒸汽射流中扩散并被射流携带到水冷的泵壁处 B,在 B 处,工作 蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回到油锅中循环使用,而被抽气体在 B 处堆 积、压缩,最后被下级射流携带走,以达到逐级压缩,最后被前级泵抽走。其工 作极限线 Pa 范围内。应用在设备上的扩散泵工作范围在 10-2~ 10-4 Pa 范围内。性能曲线 影响扩散泵性能的因素: ① 扩散泵油蒸气的返流。 a. 泵壁表面油膜和油滴的蒸发。 b. 喷嘴喷出的高速油蒸气流碰到泵壁后的反射。 c. 一级喷口表面的油膜及油滴的蒸发。 d. 喷口边缘高速油蒸气流的散射。 e. 室温下油沿泵壁向表面迁移。 ② ③ ④ 气体分子的反扩散。 扩散泵油的裂化分解(油氧化没抽速) 。 清洗不干净的真空泵,污染物留在泵内并重复循环。 针对以上原因, 在使用油扩散泵过程中, 增加了一些装置来防止上述现象的出现, 真空系统上所加的冷阱就是为了防止扩散泵油蒸气的返流。 加罗茨泵和双机械泵 是为了减少扩散泵出气口的压力(≤40Pa) 。尽量减少气体分子的反扩散。采用合 格的扩散泵油是为了防止扩散泵油的裂化分解。 油扩散泵性能曲线) 扩散泵的维护与保养及常见问题的处理: ① ② ③ ④ ⑤ ⑥ 扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通,停止加热后必须保证泵工作液已 扩散泵停止工作时,泵内应保持真空状态,以免泵油劣化。 被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。 扩散泵如暂时不用,保管期间应保持真空状态,以免泵油污染和各零件腐 扩散泵在正常运行时如突然出现性能变坏,应先检查加热器是否正常。 扩散泵在长期工作后,性能会逐渐变坏,应定期检修。 完全冷却后方可关闭冷却水。 蚀。并将冷却水套内的剩水吹净。保存场地的室温应在 10℃~40℃之间。 a. 泵油是否减少或氧化,按相应要求加油或更换处理。 b. 零件及泵腔先用航空汽油清洗,然后用丝绸蘸或丙酮进行擦洗,并置于 80℃~100℃温度下烘干或用电吹风吹干。 c. 处理完后,按顺序进行装配,保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心,各级喷嘴间 隙要按原要求调整好。

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