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扩散泵_油扩散泵_油_工作原理_真空技术网

时间:2020-01-03 02:33来源:未知 作者:admin 点击:
为了获得品质优质的矿物型扩散泵油,介绍一种以石油基础油为原料,在分子蒸馏器中进行蒸馏切割,得到切割馏分较完善的二种不同规格的扩散泵油。 扩散泵的泵油返油主要原因是返

  为了获得品质优质的矿物型扩散泵油,介绍一种以石油基础油为原料,在分子蒸馏器中进行蒸馏切割,得到切割馏分较完善的二种不同规格的扩散泵油。

  扩散泵的泵油返油主要原因是返流,这是是扩散泵系统的主要污染原因。采取合适的方法可以减少扩散泵的返油现象。

  油扩散泵是靠高速蒸汽射流来携带气体以达到抽气的目的,它工作在高真空区域,其工作压强范围为10-2~10-6pa。油蒸汽从伞形喷咀(如I级喷咀)以超音速喷出后,其速度逐渐增大,压力及密度逐渐降低。

  本文就如何控制油扩散泵的返油率,以期获得高真空系统为目的,从油扩散泵的设计原理及在生产实际中积累的经验进行探讨。

  本文介绍和给出了扩散泵以及扩散喷射泵的主要尺寸、参数的设计与计算,并对抽气速率、蒸发面积及喷咀设置与返流率等问题进行探讨。

  油扩散泵是高真空系统经常使用的泵种,采取某些技术措施,可以获得超高真空。

  评述现有国产扩散泵产品的进展情况, 存在的不足之处, 今后应努力改进的方向。讨论测量扩散泵返油率的几种方法, 提出采用石英晶体振荡器测量扩散泵返油率的新建议。

  详细地介绍了前苏联1953年由国家制订的高真空油扩散泵工业产品的统一系列。

  本文叙述了盖得的发明专利, 从初期的汞扩散泵到分馏油扩散泵的演变过程。讨论了泵体结构、喷咀型式、泵油性能和几个关键技术问题。

  本文在分析该系统工作原理的基础之上, 着重讨论了系统的日常维护、泵油的选择原则与更换清洗方法、典型故障分析与处理等主要方面的问题。

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